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■ 国信证券
中微公司(688012)成立于2004年,公司核心高管及技术人员多数具有国际半导体大厂从业经验,CEO尹志尧博士是近300项海内外专利的主要发明人。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备,产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造等领域。
公司CCP设备性能先进,在国产设备中处于绝对领先地位,已切入国际知名厂商5nm产线,国内市场份额持续提升,2022年公司已累计有2320个反应台在生产线运转;ICP设备2022年上半年收入4.13亿元,同比增长414.08%,截至2022年6月底,ICP Nanova设备已经顺利交付超过220台反应腔,在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。截至2022年中,本土刻蚀设备国产化率约两成,中美贸易摩擦持续刺激国产设备的需求,公司作为国产刻蚀设备龙头有望持续受益。
公司MOCVD在Mini-LED中的蓝绿光生产线取得绝对领先地位,针对Micro-LED的新品设备也在积极研发,布局于金属钨填充的LPCVD设备、锗硅外延生长的Epi设备和原子层沉积的ALD设备研发顺利,部分已经进入样机制造和调试阶段,预计将于2023年陆续推出,有望成为公司新的业务成长点。
量测设备贯穿整个晶圆制造环节,设备价值约占产线价值的13%,也是前道国产化率最低的环节之一,截至2022年国产化率仅约1%。KLA的退出提高了国产量测设备环节的重要性,国产量测设备有望进入国产替代加速期,公司2022年对睿励仪器追加1.08亿元现金投资,持股比例从20.4%变更为29.4%,持续投资布局工艺检测设备领域,有望成为国产量测设备主力,同时与制造设备形成良性协同作用。
我们预计,2022年-2024年,公司归母净利润分别为12.19亿元、15.59亿元、19.22亿元,上调至“买入”评级。
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