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　　万业企业3月14日发布消息，公司旗下嘉芯迦能的高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)再次中标特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。

　　据悉，自2022下半年开始，万业企业子公司嘉芯半导体多次中标多款设备。包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)等。