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　　摘要：

　　近日，荷兰以国家安全为由将对芯片出口实施新限制，或影响巨头阿斯麦（ASML）光刻设备。

　　① 光刻机博弈再生变数，保障供应链安全推动设备国产化提速

　　② 半导体设备国产化稳步推进，多环节设备取得突破

　　③ 相关上市公司业绩稳健，研发费用高企

　　④ 投资策略：市场情绪已起，重点卡脖子弹性大

　　① 出口限制好于预期，国产化迫在眉睫

　　当地时间3月8日，荷兰政府公告拟对华限制出口DUV光刻等技术并于夏季前实施。ASML官网回应称，新出口管制主要针对先进制造技术，不涉及所有浸没式光刻工具，只针对“最先进”设备（尚无明确定义），目前ASML将其理解为TWINSCANNXT:2000i及之后的浸没式设备。该公司强调，成熟制程客户可以使用不太先进的浸没式工具。

　　安信证券指出，半导体设备是制约国内芯片制造自主可控的核心环节，目前国内整体的半导体设备国产化率依然处于较低的水平,随着美国半导体设备厂以及荷兰ASML制裁的升级，国产替代紧迫性进一步提高有望加速国内半导体设备国产化的进程。

　　上海证券指出，ASML光刻机出口限制好于市场预期，国内晶圆厂扩张有望重回正轨。对于国内的晶圆厂来说，如果在荷兰的限制之外，仍然能够采购到满足14-28nm工艺的光刻机设备，那么国产线的推进仍旧可以继续，晶圆厂的扩张有望重回正轨。国内的其他前道设备厂及材料零部件供应商都有望重回加速渗透的阶段，产业链上下游有望持续受益。

　　② 国产化稳步推进，多环节设备取得突破

　　在半导体设备方面，当前国产化稳步推进，多环节设备取得突破。

　　根据浙商证券(601878)研报，我国去胶设备、清洗设备、CMP设备、热处理设备、刻蚀设备国产化率较高。

　　图1：我国半导体设备国产化率，来源：采招网，浙商证券研究所

　　从国内重点产线招投标数据来看，美国日本占据头部地位，国产设备替代空间大。半导体设备进入国产替代加速期，看好国产设备加速导入。从近年中标结果来看，中微公司(688012)、北方华创(002371)、盛美上海、华海清科、屹唐半导体、拓荆科技、芯源微等公司是国产替代主力军。

　　图2：四大公司中标项目国家/地区占比，来源：采招网，浙商证券研究所

　　③ 相关上市公司业绩稳健，研发投入加码

　　浙商证券统计了北方华创、中微公司、芯源微、华峰测控、至纯科技(603690)、拓荆科技、盛美上海、华海清科、长川科技(300604)、精测电子(300567)、晶盛机电(300316)11家主要半导体设备公司的财务指标。数据显示，主要国产半导体设备厂商业绩增长快，研发投入加码。

　　2022Q1-Q3，营收、归母净利润分别达318、69亿元，同比增长65%、90%；合同负债合计达202亿元，同比+71%，存货389亿元，同比+87%；研发费用合计同比增长59%。

　　图3：营收、净利润、合同负债、存货情况，来源：Wind，浙商证券研究所

　　图4：研发费用情况，来源：Wind，浙商证券研究所

　　④ 投资策略：市场情绪已起，重点卡脖子弹性大

　　中航证券指出，上周刘鹤副总理调研北京集成电路提及“新型举国体制”发展集成电路；大基金二期入股长江存储，扶持高端存储芯片攻坚克难；两会提及重组科技部，部分职责拟划入工信部等，由工信部引导产业规划及政策。多重事件强七了市场信心，我们在上月末提示，自主可控是长期的投资主线，半导体设备正处于估值底部区间，配置性价比凸显且安全边际较高。当前时点，我们认为市场情绪已起，应积极把握国产替代大浪潮下，设备、材料、零部件的投资机会。重点卡脖子、国产化率低的细分环节有望获得更大弹性，如光刻机零部件、光刻胶、涂胶显影、量测环节等，建议关注：

　　1）半导体设备：北方华创、芯源微、拓荆科技、华海清科；

　　2）零部件：正帆科技、茂莱光学、富创精密

　　3）半导体材料：华科技、华特气体、雅克科技